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空气过滤器标准和效率

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空气过滤器标准和效率随着微电子工业的发展,对高效过滤器要求越来越严,德国标准DIN24183率先提出;最容易穿透粒径;(MostPene****atingParticleSize,简称MPPS)法,并采用最容易穿透粒径来检测空气过滤器的效率.其实不同的滤料和不同的滤速最容易穿透粒径是不同的…
 

空气过滤器标准和效率

随着微电子工业的发展, 对高效过滤器要求越来越严, 德国标准DIN24183率先提出
"最容易穿透粒径"(Most Penetrating Particle Size, 简称MPPS)法, 并采用最容易穿
透粒径来检测空气过滤器的效率. 其实不同的滤料和不同的滤速最容易穿透粒径是
不同的, 一般在0.11um-0.25um范围内. www.csxcyb.com 然后以此粒径测试其效率或用于扫描实验.
MPPS是目前最严格的试验标准,
具体测试一般采用DOP方法.

DOP(邻苯二甲二辛酯)法: 实验尘源为0.3um单分散相DOP液滴, 测量粉尘仪器为光度
计, 以气样的浊度差别来判定过滤器对DOP颗粒的过滤效率. 目前逐步采用大流量激光
粒子计数器或凝结核计数器对过滤器整个出风面进行扫描检验.
 

中国标准 欧洲标准
EN779-1993
美国DOP
0.3um效率/%
ASHRA标准
计重法效率/%
ASHRAE标准
比色法效率/%
粗效过滤器 G1   < 65  
粗效过滤器 G2   65-80  
粗效过滤器 G3   80-90  
中效过滤器 G4   >=90  
中效过滤器 F5     40-60
高中效过滤器 F6 20-25   60-80
高中效过滤器 F7 55-60   80-90
高中效过滤器 F8 65-70   90-95
高中效过滤器 F9 75-80   >=95
亚高效过滤器 H10 > 85    
亚高效过滤器 H11 > 98    
高效过滤器A H12 > 99.9    
高效过滤器A H13 > 99.97    
高效过滤器B H14 > 99.997    
高效过滤器C U15 > 99.9997    
高效过滤器D U16 > 99.99997    
高效过滤器D U17 > 99.999997    

-------------------------------------------------------------------------------
敏感元器件静电压标准

HBM模式(人体模式) ESD STM5.1-1998
级别 静电压范围
Class 0 < 250V
Class 1A 250-<500V
Class 1B 500-<1,000V
Class 1C 1,000-<2,000V
Class 2 2,000-<4,000V
Class 3A 4000-<8,000V
Class 3B >=8,000V
MM模式(机器模式) ESD STM5.2-1999
级别 静电压范围
Class M1 < 100V
Class M2 100-<200V
Class M3 200-<400V
Class M4 >=400V
CDM模式( 放电模式) ESD STM5.3.1-1999

级别

静电压范围
Class C1 < 125V
Class C2 125-<250V
Class C3 250-<500V
Class C4 500-<1,000V
Class C5 1,000-<1,500V
Class C6 1,500-<2,000V
Class C7 >=2,000V
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